Ученые Imec получили на большой площади (70 см²) КПД эпитаксиальные солнечные батареи с КПД до 16.3 % на высококачественных подложках. До этого КПД в 14.7 % было достигнуто на подложках низкого качества большой области, что демонстрирует потенциал тонкопленочных, эпитаксиальных солнечных батарей для промышленного производства. Кроме того, Imec разрабатывает эпитаксиальный тонкопленочные (менее 20мкм) кремниевые солнечные ячейки, выращенные на дешевых кремниевых подложках.питаксиальный процесс производства тонких пленок на дешевых кремниевых подложках подобен основному процессу, поэтому процесс эпитаксиального слоя может быть осуществлен с ограниченными инвестициями в оборудование в существующей производственной линии, изготавливающей прозрачные кремниевые солнечные батареи. Для улучшения оптического удержания света в активной части батареи, разработана пористая структура Si.

Imec реализовал нанесение 20мкм высококачественного эпитаксиальных кремниевых пленок,как на высоколегированные высококачественные подложки, так и на дешевые, UMG (модернизированная металлургическая марка)-типа, мультикристаллические кремниевые подложки. P + - тип получен методом обратной поверхностной области (BSF), р-тип базы и п-тип эмиттера были выращены методом химического осаждения из газовой фазы.

Схема захвата состоит из лицевой текстурированной плазмой поверхности в сочетании с внутренней поверхностью,состоящей из пористого кремния, расположенного на эпитаксиальной подложке. Батареи с высококачественной подложкой контактируют с медным покрытием. Для батарей,изготовленных на некачественных подложках, металлизации реализуется трафаретным способом, который является заключительным этапом после создания диффузионного поверхностного поля (FSF) и просветляющего покрытия из нитрида кремния. Таким образом, процесс изготовления эпитаксиальных 'эквивалентных пластин' подложки полностью совместим со стандартным процессом изготовления солнечных батарей.

"КПД до 16.3 % на высококачественных подложках и КПД до 14.7 % на дешевых подложках показывают, что КПД достигло промышленного уровня - но не является пределом для этой технологии;” говорит Джеф Пуртманс, директор программы солнечной энергии Imec. "Осуществляя схемы контакта на основе меди, мы можем далее увеличить эффективность, делая эпитаксиальные кремниевые тонкопленочные солнечные батареи на дешевых подложках - интересной промышленной технологией.”